T/ICMtia PC008-2021 集成(chéng)電路用硝(xiāo)酸(suān)

範圍(wéi)
本文(wén)件(jiàn)規(guī)定(dìng)了(liǎo)集(jí)成(chéng)電路(lù)用硝(xiāo)酸的技(jì)術要求，試驗方法，檢驗(yàn)規(guī)則(zé)，標誌(zhì)，包裝，運(yùn)輸，貯存(cún)。
本文(wén)件(jiàn)適(shì)用於集成電路製造(zào)過(guò)程中(zhōng)使(shǐ)用(yòng)的(dí)硝酸(suān)。
分(fēn)子式: HNO₃
相對分子(zǐ)質(zhì)量(liáng): 63.01(按(àn)2014年國(guó)際(jì)相(xiāng)對原子(zǐ)質量(liáng))。

要(yào)求(qiú)
外觀(guān)
無(wú)色透(tòu)明溶液。
規(guī)格(gé)
集(jí)成(chéng)電路(lù)用(yòng)硝酸的(dí)規(guī)格分(fēn)為: IC-1級(jí)，IC-2級(jí)，IC-3級(jí)。
技術(shù)要求
集成電路用硝酸的(dí)技術要求見(jiàn)表1。






注(zhù): 1，可根(gēn)據(jù)客戶需(xū)求定(dìng)製特(tè)殊(shū)規格(gé)產品。
      2，1μg/L=1ppb=1000ppt，1μg/kg=1ppb=1000ppt。

試驗(yàn)方(fāng)法
含(hán)量(liáng)的(dí)測定(dìng)
試劑和材(cái)料
——*溶(róng)液(yè)，1.00mol/L；
——帶(dài)蓋(gài)PE燒(shāo)杯(bēi)。
儀(yí)器
自(zì)動滴(dī)定儀。
樣品(pǐn)製備
用移液(yè)槍或吸(xī)量管移取約1.0g(精確至(zhì)0.0001g)的樣(yàng)品至(zhì)預先裝有60g左右水的帶(dài)蓋(gài)PE燒杯(bēi)中(zhōng)。
測(cè)定
按照(zhào)自(zì)動滴定儀操作規程打開儀(yí)器(qì)，待機(jī)器處於(yú)穩(wěn)定狀態時(shí)，在(zài)自動(dòng)滴定(dìng)電腦(nǎo)界(jiè)麵(miàn)上(shàng)登入，選擇方(fāng)法(fǎ)以及樣品(pǐn)質(zhì)量等信(xìn)息後點擊“開始"即可。分(fēn)析結(jié)束後(hòu)記錄(lù)數(shù)據(jù)。
取平(píng)行(háng)測定結(jié)果的算術(shù)平(píng)均值為(wéi)測定結(jié)果，兩(liǎng)次(cì)平(píng)行測(cè)定結果的絕對差值不(bù)大於0.05%。