T/ICMtia PC007-2021 集(jí)成(chéng)電路用氫氟(fú)酸

範(fàn)圍(wéi)
本(běn)文(wén)件(jiàn)規(guī)定了集成(chéng)電路用(yòng)氫氟(fú)酸的技術(shù)要求，試(shì)驗方法，檢(jiǎn)驗(yàn)規則，標誌，包裝，運輸，貯(zhù)存(cún)。
本文(wén)件(jiàn)適用於(yú)集成電(diàn)路製(zhì)造(zào)過(guò)程中(zhōng)使(shǐ)用的氫(qīng)氟(fú)酸(suān)。
分(fēn)子(zǐ)式(shì): HF
相對分子質(zhì)量(liáng): 20.01(按2014年(nián)國際相對原子質量(liáng))。

要求
性狀(zhuàng)
無色透(tòu)明(míng)溶(róng)液，有揮發性(xìng)，有(yǒu)刺(cì)激性氣(qì)味。
規格
集成電(diàn)路(lù)用氫氟酸(suān)的規格分為: IC-1級(jí)，IC-2級(jí)和IC-3級(jí)。
技(jì)術要求
集成電(diàn)路用氫氟(fú)酸的(dí)技(jì)術要求(qiú)見表1。




注: 1，可(kě)根(gēn)據客(kè)戶(hù)需求(qiú)定製(zhì)特殊(shū)規格產品；
      2，1μg/L=1ppb=1000ppt，1mg/kg=1ppm。

試(shì)驗(yàn)方(fāng)法
含量(liáng)的測定
試劑和材料(liào)
——*溶(róng)液，1.00mol/L；
——帶蓋PE燒杯(bēi)。
儀(yí)器
自動滴定儀(yí)。
樣品(pǐn)製備(bèi)
用(yòng)移(yí)液(yè)槍或吸量管移取約0.5g(精確(què)至0.0001g)的(dí)樣品至預先裝(zhuāng)有60g左右水(shuǐ)的帶(dài)蓋的(dí)PE燒杯中(zhōng)。
測定
按照自動滴(dī)定儀(yí)操(cāo)作(zuò)規程打開(kāi)儀器，待機(jī)器處於穩(wěn)定狀態(tài)時，在自(zì)動(dòng)滴定電腦界(jiè)麵(miàn)上登(dēng)入(rù)，選(xuǎn)擇(zé)方法及(jí)樣(yàng)品質量等信息後(hòu)點擊“開始(shǐ)"即(jí)可。分析結束後記錄數(shù)據(jù)。
取平(píng)行測定(dìng)結果(guǒ)的(dí)算術(shù)平均值為測定結果(guǒ)，兩次平(píng)行測(cè)定結果的(dí)絕對差(chà)值(zhí)不大於(yú)0.05%。