GB/T 46697-2025 電子(zǐ)級八甲(jiǎ)基(jī)環四矽氧烷

範圍(wéi)
本文(wén)件規定(dìng)了半導體行業(yè)用電子級八(bā)甲基環(huán)四(sì)矽(guī)氧烷的技術(shù)要(yào)求(qiú)，檢(jiǎn)驗(yàn)規則，包裝，標(biāo)誌，隨貨資(zī)料(liào)，運輸(shū)，貯(zhù)存及安(ān)全警(jǐng)告(gào)的(dí)要求，描述了對(duì)應的(dí)檢(jiǎn)測方(fāng)法(fǎ)。
本文件適(shì)用(yòng)於沉積(jī)氧(yǎng)化矽(guī)，碳(tàn)氧(yǎng)摻雜矽，碳化矽等矽(guī)基(jī)膜的(dí)電子級(jí)八甲基(jī)環四(sì)矽(guī)氧(yǎng)烷，以其優(yōu)異(yì)的絕緣性(xìng)和(hé)耐高(gāo)溫(wēn)性在半導體領域用作封(fēng)裝隔(gé)離層，集成(chéng)電路絕緣層和介電(diàn)層(céng)等。

術語和定義(yì)
本文(wén)件沒有(yǒu)需要(yào)界定(dìng)的(dí)術語和定(dìng)義(yì)。

技術(shù)要求(qiú)
電(diàn)子級八甲基(jī)環四(sì)矽(guī)氧(yǎng)烷(wán)應符(fú)合(hé)表1的(dí)規(guī)定(dìng)。|




檢(jiǎn)測方法(fǎ)
水(shuǐ)分含量(liáng)的測(cè)定
所用微(wēi)量水分(fēn)測(cè)定(dìng)儀應符合(hé) GB/T 26793 規(guī)定(dìng)，測定方法應按 GB/T 6324.8 中的規定執行。
可采用其他等效的方法測(cè)定(dìng)八甲基環(huán)四矽(guī)氧(yǎng)烷中水(shuǐ)含量。當(dāng)測定(dìng)結(jié)果有異議(yì)時(shí)，以(yǐ) GB/T 6324.8 規(guī)定(dìng)的方法為仲(zhòng)裁(cái)方法。
GB/T 26793-2011 庫侖(lún)法(fǎ)微量(liáng)水分測(cè)定儀
GB/T 6324.8-2014 有(yǒu)機(jī)化工產品(pǐn)試驗(yàn)方(fāng)法 第(dì)8部(bù)分(fēn): 液體產(chǎn)品水(shuǐ)分(fēn)測(cè)定 卡(qiǎ)爾(ěr)·費(fèi)休庫(kù)侖(lún)電量法