T/CSTM 01148-2024 電子(zǐ)級氨水

範(fàn)圍(wéi)
本(běn)文件規定(dìng)了(liǎo)電(diàn)子(zǐ)級氨水的(dí)分(fēn)級與命(mìng)名，技術要求(qiú)，試驗(yàn)方法(fǎ)，檢驗規則(zé)，標誌(zhì)，包裝，運輸，貯存(cún)和隨行(háng)文(wén)件，安全信(xìn)息。
本文(wén)件適(shì)用於(yú)以(yǐ)工業級(jí)液(yè)氨和超(chāo)純水(shuǐ)為原料，經(jīng)純化製得(dé)的(dí)電子(zǐ)級(jí)氨水(shuǐ)。主要用(yòng)作(zuò)集成(chéng)電(diàn)路(半導體)，印刷(shuā)電(diàn)路板(bǎn)等製程用化(huà)學品(pǐn)。
CAS號：1336-21-6
分子式：NH3·H2O
相對分子質(zhì)量(liáng)：35.05(按2022年國際相對(duì)原子(zǐ)質量)

術語(yǔ)和(hé)定義
本(běn)文件沒(méi)有(yǒu)需要界(jiè)定(dìng)的(dí)術(shù)語和定義。

分(fēn)級及命(mìng)名(míng)
電子(zǐ)級氨(ān)水分為I級(jí)，II級和(hé)III級(jí)共(gòng)3個(gè)等級(jí)。I級電子(zǐ)級氨水(shuǐ)標記(jì)為：UP-I；II級電子(zǐ)級(jí)氨水(shuǐ)標(biāo)記(jì)為：UP-II；III級電(diàn)子(zǐ)級氨(ān)水標(biāo)記為：UP-III。
注(zhù)：UP-II級(jí)和(hé)UP-III級(jí)主(zhǔ)要用於半導體(tǐ)常規(guī)製程及(jí)高製程麵板(bǎn)行(háng)業，UP-I級(jí)主(zhǔ)要(yào)用(yòng)於(yú)半(bàn)導(dǎo)體先(xiān)進(jìn)製(zhì)程行業(yè)。

技(jì)術(shù)要求(qiú)
電子(zǐ)級(jí)氨(ān)水的技(jì)術指標應符合表1的規(guī)定。






試(shì)驗(yàn)方法(fǎ)
氨(ān)含量的測(cè)定
方法(fǎ)提要(yào)
采用(yòng)電(diàn)位(wèi)滴定法(fǎ)，用(yòng)鹽酸標準滴定溶(róng)液滴(dī)定樣(yàng)品中(zhōng)的(dí)氨。
試(shì)劑和(hé)材(cái)料
鹽(yán)酸(suān)標準滴定(dìng)溶液(yè)：c(HCl)≈0.5mol/L。
儀器(qì)和設備
分析天(tiān)平：感量(liáng)為(wéi)0.0001g。
電(diàn)位滴定(dìng)儀(yí)：按 GB/T 9725-2007，5, 儀(yí)器和裝置中規(guī)定，或(huò)具備(bèi)同(tóng)等(děng)構造與(yǔ)精度的儀(yí)器。電(diàn)極：按 GB/T 9725-2007 中規定的復合(hé)電(diàn)極或玻(bō)璃(lí)-飽(bǎo)和(hé)甘汞電極。
測定步(bù)驟(zhòu)
量取60mL水於(yú)燒杯中，稱取約(yuē)1g的樣品(精(jīng)確至(zhì)0.0001g)，用(yòng)鹽(yán)酸(suān)標準滴定(dìng)溶(róng)液(yè)滴(dī)定(dìng)，電位隨(suí)滴定(dìng)劑變(biàn)化率(shuài)dU/dV最大(dà)點為其(qí)滴(dī)定(dìng)終點。
結果(guǒ)計算
氨(NH₃)含量(w)，按式(shì)(1)計算， 數值均(jūn)以(yǐ)%表(biǎo)示：

式中：
V ——滴定(dìng)試(shì)驗溶液所(suǒ)消耗鹽酸標準滴定(dìng)溶(róng)液(yè)的(dí)體積(jī)數值，單(dān)位(wèi)為毫(háo)升(mL)；
C ——鹽(yán)酸標準(zhǔn)滴(dī)定(dìng)溶液濃度的準確(què)數(shù)值(zhí)，單位為(wéi)摩爾(ěr)每升(shēng)(mol/L)；
M ——氨水摩(mó)爾(ěr)質量(liáng)的數(shù)值，單位為克每(měi)摩爾(ěr)(g/mo])[M(NH3)=17.03]；
m ——試樣質(zhì)量(liáng)的(dí)數值，單(dān)位(wèi)為克(g)。