DB34/T 4100-2022 平(píng)板顯示用稀釋(shì)劑(jì)精餾法再(zài)生利(lì)用技術(shù)要(yào)求

範(fàn)圍(wéi)
本(běn)文件規定了平板顯(xiǎn)示用稀(xī)釋劑精(jīng)餾(liù)法再生(shēng)利(lì)用(yòng)的技(jì)術(shù)原(yuán)料(liào)，技術(shù)要(yào)求，汙染(rǎn)控製(zhì)要(yào)求和(hé)安(ān)全要求(qiú)。
本文(wén)件(jiàn)適用於(yú)平板(bǎn)顯示(shì)用(yòng)稀釋(shì)劑精(jīng)餾(liù)法(fǎ)再生(shēng)利(lì)用(yòng)。

術(shù)語(yǔ)和(hé)定義(yì)
下列(liè)術語(yǔ)和定義適用(yòng)於本文件。
稀釋(shì)  thinning
平板顯(xiǎn)示屏製屏工序中(zhōng)，為(wéi)實(shí)現(xiàn)光刻膠(jiāo)在玻(bō)璃基(jī)板上(shàng)呈現良好塗(tú)膠效(xiào)果(guǒ)，使(shǐ)用溶(róng)於有(yǒu)機溶劑(jì)的(dí)光刻(kè)膠(jiāo)進(jìn)行塗膠(jiāo)，這種(zhǒng)用有機溶劑溶(róng)於光刻膠的工藝(yì)過程(chéng)就(jiù)是(shì)稀(xī)釋(shì)。
稀(xī)釋液(yè)  thinner
用於稀釋光刻膠進(jìn)行(háng)玻(bō)璃麵(miàn)板塗(tú)膠的溶液(yè)。
稀(xī)釋(shì)劑廢(fèi)液(yè)  waste thinner
溶於(yú)稀釋(shì)劑中(zhōng)的光(guāng)刻(kè)膠，在(zài)玻璃基(jī)板上完成塗膠後(hòu)，對(duì)玻璃基板進行加熱使稀釋(shì)劑蒸發，光刻膠(jiāo)作為高分子物質(zhì)留在(zài)玻(bō)璃基(jī)板(bǎn)上，蒸發的氣(qì)相(xiāng)經冷(lěng)凝成(chéng)為稀(xī)釋劑廢(fèi)液。廢(fèi)液(yè)主要(yào)含有(yǒu)有(yǒu)機溶劑(jì)，少量(liáng)光(guāng)刻(kè)膠，水，金(jīn)屬(shǔ)離(lí)子等。
再(zài)生利(lì)用  recycling
通(tōng)過(guò)對(duì)廢(fèi)液(yè)進(jìn)行(háng)處理，將(jiāng)其中有(yǒu)價(jià)值的物料集中回(huí)收後，成(chéng)為可再(zài)利用(yòng)的物料的過程，不(bù)包(bāo)括對(duì)能量的(dí)回(huí)收(shōu)和(hé)利用。

原料
稀(xī)釋(shì)劑(jì)廢(fèi)液(yè)。

技(jì)術要求
基本(běn)要(yào)求(qiú)
平(píng)板顯示(shì)用剝離(lí)液精(jīng)餾法再生利用(yòng)相關的(dí)總(zǒng)平(píng)布(bù)置(zhì)應滿(mǎn)足 GB 50160，化(huà)工(gōng)容(róng)器設備應(yīng)按(àn)照HG/T 20580 相(xiāng)關規(guī)定設計，設(shè)備與管(guǎn)道係統涉及溫(wēn)度(dù)和(hé)壓(yā)力(lì)應(yīng)按照(zhào) HG/T 20570.1，HG/T 20570.2，HG/T 20570.5，HG/T 20570.6，HG/T 20570.8 相(xiāng)關(guān)規定設計，管道(dào)儀表流程(chéng)圖應(yīng)按照(zhào) HG/T 20559.1，HG/T 20559.2，HG/T 20559.3，HG/T 20559.4，HG/T 20559.5，HG/T 20559.6，HG/T 20559.7 對乙(yǐ)類(lèi)可(kě)燃液體的(dí)相關規(guī)定設計(jì)。
平板(bǎn)顯示(shì)用稀釋(shì)劑精餾(liù)法再生利(lì)用過程中(zhōng)廢物收集(jí)，貯存，包裝(zhuāng)，運(yùn)輸(shū)應(yīng)滿(mǎn)足(zú) HJ 2025 相關規定。
平(píng)板顯示用稀釋(shì)劑(jì)精餾法再生利(lì)用過程(chéng)中(zhōng)危險廢物(wù)的(dí)貯存容(róng)器(qì)，貯存設施(shī)的選址與(yǔ)設計(jì)原(yuán)則(zé)，貯存(cún)設施(shī)的(dí)運(yùn)行(háng)和(hé)管理(lǐ)，安(ān)全防(fáng)護(hù)與(yǔ)檢測等應(yīng)滿(mǎn)足 GB 18597 的規定。
殘液的(dí)排放數(shù)量應小(xiǎo)於4倍光刻膠(jiāo)的(dí)含(hán)量。
應控製(zhì)係(xì)統運行(háng)溫(wēn)度在設(shè)定溫度的±3°C內，壓(yā)力在設定(dìng)壓力(lì)的±5mmHg內。
整個係統配(pèi)備氮(dàn)氣(qì)保(bǎo)護係統。
保證係(xì)統(tǒng)真空度，溫度(dù)滿足精(jīng)餾要求，冷卻水(shuǐ)應(yīng)宜(yí)采用7°C低溫水冷。
工(gōng)藝流(liú)程
平(píng)板顯(xiǎn)示(shì)用(yòng)稀釋劑(jì)精餾法(fǎ)再生(shēng)利(lì)用(yòng)工(gōng)藝流(liú)程，如(rú)下(xià)圖1所示。


工藝(yì)流程(chéng)技(jì)術要求
過濾
稀釋劑廢液經不小(xiǎo)於50目的(dí)過濾(lǜ)器(qì)過(guò)濾，濾出(chū)的(dí)固體(tǐ)雜(zá)質作為(wéi)危廢交由有資(zī)質(zhì)單位(wèi)處(chǔ)理。
蒸發(fā)
經(jīng)過過(guò)濾(lǜ)的稀(xī)釋(shì)劑廢(fèi)液(yè)進入(rù)蒸發(fā)器蒸發，蒸(zhēng)發(fā)的氣相(xiāng)再(zài)進(jìn)入(rù)一(yī)級精餾(liù)塔。應(yīng)采(cǎi)用(yòng)薄膜蒸(zhēng)發器。蒸發器排(pái)放殘(cán)液(yè)的數量(liáng)應(yīng)不大(dà)於(yú)廢(fèi)液(yè)中光刻膠(jiāo)含量的(dí)2倍。排(pái)出(chū)的殘液作(zuò)為(wéi)固廢交由(yóu)有(yǒu)危廢處(chǔ)理(lǐ)資(zī)質單位(wèi)處(chǔ)理。蒸(zhēng)發器(qì)溫(wēn)度宜(yí)在(zài)60°C～100°C，壓力60mmHg～100mmHg。
一(yī)級精(jīng)餾
蒸(zhēng)發後的氣相進(jìn)入(rù)一級精餾塔，精餾(liù)塔高(gāo)位槽至2/5到(dào)1/2液位時，打開(kāi)回(huí)流，在此(cǐ)過程(chéng)中一級精(jīng)餾(liù)塔液(yè)位逐(zhú)漸升(shēng)高，逐(zhú)步加大(dà)一級精餾(liù)塔(tǎ)再沸器(qì)供熱(rè)量，在塔(tǎ)釜液位(wèi)升(shēng)高至2/3到(dào)4/5時，將塔(tǎ)釜液打(dǎ)至二(èr)級精(jīng)餾塔。控(kòng)製(zhì)精餾塔溫度(dù)，壓力等工(gōng)藝參數(shù)，進(jìn)行減(jiǎn)壓(yā)精餾(liù)，脫(tuō)除廢液中的輕(qīng)組分(水，低沸點(diǎn)雜質(zhì))雜質(zhì)，經冷(lěng)凝收集入(rù)高位(wèi)槽，進入(rù)高位槽(cáo)的(dí)溶液後(hòu)作為廢(fèi)水處理(lǐ)。一(yī)級精餾(liù)的(dí)溫(wēn)度(dù)，壓(yā)力，回流比區(qū)間(jiān)宜為: 60°C～90°C，70mmHg～100mmHg，回(huí)流比(bǐ)(1～3)：1。
二(èr)級精(jīng)餾(liù)
經泵(bèng)輸送至(zhì)二(èr)級精餾塔(tǎ)的(dí)塔釜液(yè)，精(jīng)餾塔(tǎ)塔釜至2/5到1/2液位時，逐步(bù)加大(dà)二(èr)級精餾塔(tǎ)再沸器(qì)供(gōng)熱量(liáng)，當精餾塔高(gāo)位(wèi)槽(cáo)至(zhì)2/5到(dào)1/2液(yè)位(wèi)時，打開回流(liú)，全(quán)回(huí)流1h，係統穩定(dìng)運(yùn)行1小(xiǎo)時後，打開(kāi)出(chū)料，控(kòng)製(zhì)進(jìn)料(liào)和(hé)采出平(píng)衡，精(jīng)餾(liù)過程(chéng)中嚴格控製溫度，壓力，回(huí)流比等(děng)工藝參數(shù)，經(jīng)精(jīng)餾脫除金(jīn)屬離子雜(zá)質，極少量(liáng)的光(guāng)刻膠和有機物重組分雜(zá)質後(hòu)，經(jīng)冷(lěng)凝(níng)收(shōu)集得(dé)到冷凝液，冷凝液待(dài)分析(xī)。二(èr)級精餾塔(tǎ)塔(tǎ)釜物(wù)料(liào)根據(jù)溫度應(yīng)定期(qī)排(pái)放(fàng)殘液。二級精(jīng)餾的溫(wēn)度(dù)，壓(yā)力(lì)，回流比區間宜為: 80°C～120°C，60mmHg～90mmHg，回流(liú)比(2～5)：1。
分析
按 GB/T 3143，GB/T 6283，GB/T 9722，SJ/T 11637 對二級精(jīng)餾(liù)塔(tǎ)塔頂(dǐng)冷(lěng)凝(níng)液(yè)的色(sè)度，水(shuǐ)分(fēn)，有機組(zǔ)分(fēn)含量，金(jīn)屬(shǔ)離子(zǐ)含(hán)量進(jìn)行分析。分析(xī)結果(guǒ)符(fú)合(hé)：色(sè)度(dù)應不大於(yú)20度，水(shuǐ)分含(hán)量應不(bù)大(dà)於0.10％，有效(xiào)有機(jī)組分含量應(yīng)不小於(yú)95.00％；金屬(shǔ)Li，Na，Mg等(děng)應(yīng)不大於40ug/L，則(zé)為電(diàn)子級(jí)再生稀(xī)釋(shì)劑(jì)，泵(bèng)入(rù)電子(zǐ)級再生(shēng)稀(xī)釋劑儲(chǔ)罐。
不(bù)合格回(huí)用(yòng)
檢(jiǎn)測不(bù)合格品(pǐn)則切換(huàn)回稀釋(shì)劑廢(fèi)液罐中供再(zài)次生產。
GB/T 6283-2008 化(huà)工產品(pǐn)中(zhōng)水(shuǐ)分含量的測定 卡爾·費休法(通(tōng)用(yòng)方法(fǎ))