GB/T 46699-2025 電子(zǐ)級四(sì)甲(jiǎ)基(jī)矽烷

範(fàn)圍
本(běn)文(wén)件規定了(liǎo)半導體行業用(yòng)電(diàn)子級四甲基矽(guī)烷的技術(shù)要求，檢(jiǎn)驗規則(zé)，包(bāo)裝，標誌，隨(suí)貨(huò)資料，運(yùn)輸，貯存及安全(quán)警告(gào)的要(yào)求，描述(shù)了相應(yīng)的檢測(cè)方法
。
本文件(jiàn)適(shì)用於沉(chén)積(jī)氧化(huà)矽(guī)，碳化矽等矽(guī)基薄膜(mó)的電(diàn)子(zǐ)級四甲基矽(guī)烷，作為集成(chéng)電路的刻(kè)蝕硬掩(yǎn)層(céng)，介(jiè)電(diàn)層(céng)等功能層；也(yě)適用(yòng)於高(gāo)純(chún)電(diàn)子(zǐ)清洗(xǐ)劑(jì)和標準試劑(jì)的電子(zǐ)級四(sì)甲基矽(guī)烷
。

術(shù)語和(hé)定義
本(běn)文件(jiàn)沒(méi)有需(xū)要(yào)界定的術語(yǔ)和(hé)定(dìng)義
。

技術要(yào)求
電子級(jí)四甲(jiǎ)基矽烷(wán)應符合表(biǎo)1的規定(dìng)
。




檢(jiǎn)測方法(fǎ)
水(shuǐ)分含(hán)量的測定(dìng)
所用(yòng)微量(liáng)水(shuǐ)分(fēn)測定(dìng)儀(yí)應符合 GB/T 26793 規(guī)定，測(cè)定(dìng)方(fāng)法應按 GB/T 6324.8 的(dí)規定(dìng)執(zhí)行
。
可(kě)采用(yòng)其他(tā)等效(xiào)的方法測(cè)定(dìng)四(sì)甲基矽烷中水含(hán)量
。當(dāng)測(cè)定(dìng)結(jié)果(guǒ)有異議時，以(yǐ) GB/T 6324.8 規(guī)定(dìng)的(dí)方(fāng)法(fǎ)為仲裁(cái)方法
。
GB/T 26793-2011 庫(kù)侖(lún)法微(wēi)量水(shuǐ)分測定儀(yí)

GB/T 6324.8-2014 有機(jī)化(huà)工產品試驗(yàn)方(fāng)法 第(dì)8部分: 液體(tǐ)產品水(shuǐ)分測(cè)定 卡(qiǎ)爾(ěr)·費休(xiū)庫侖電量法(fǎ)