GB/T 30901-2025 高(gāo)純(chún)氟化銨(ǎn)溶液(yè)

範圍(wéi)
本文件(jiàn)規定了高純(chún)氟化(huà)銨(ǎn)溶(róng)液(yè)的(dí)分類(lèi)
，要求(qiú)
，試驗方法
，檢(jiǎn)驗規則
，標誌和隨(suí)行(háng)文件
，包(bāo)裝
，運輸和貯(zhù)存(cún)。
本文件適用(yòng)於高純(chún)氟化(huà)銨溶(róng)液(yè)。
注
：該產品主要(yào)應(yīng)用(yòng)於太(tài)陽(yáng)能光伏電池(chí)
，集成電路和(hé)超(chāo)大規模(mó)集成(chéng)電路(lù)芯片的清洗
，蝕刻(kè)等行業(yè)。

術(shù)語(yǔ)和定義
本(běn)文(wén)件沒有(yǒu)需(xū)要界(jiè)定的(dí)術語和(hé)定義(yì)。

分子式和相對分子質量(liáng)
分(fēn)子(zǐ)式
：NH₄F。
相(xiāng)對(duì)分子質(zhì)量
：37.04(按2022年國(guó)際(jì)相對原(yuán)子(zǐ)質量)。

分類
高(gāo)純氟化銨溶液(yè)按(àn)用途(tú)分為(wéi)5個(gè)等(děng)級
：
a) EL級
：主(zhǔ)要用(yòng)於太(tài)陽能(néng)光伏(fú)電池及液晶(jīng)顯示器(qì)件(jiàn)等的製造(zào)
；
b) UP級(jí)
：主要用於綫(xiàn)寬(kuān)為(wéi)0.8μm~1.2μm集(jí)成電路(lù)的清(qīng)洗與蝕(shí)刻(kè)
；
c) UP-S級(jí)
：主(zhǔ)要用於(yú)綫(xiàn)寬為(wéi)0.2μm~0.8μm集成(chéng)電路(lù)的(dí)清洗(xǐ)與(yǔ)蝕(shí)刻(kè)
；
d) UP-SS級
：主要用於(yú)綫寬為0.09μm~0.2μm集成電(diàn)路(lù)的清洗與蝕(shí)刻
；
e) UP-SSS級
：主要用(yòng)於(yú)綫寬(kuān)小(xiǎo)於(yú)0.09μm集成電(diàn)路的清洗與蝕刻。

要求(qiú)
外(wài)觀(guān)
：無色透(tòu)明(míng)液體。
高純(chún)氟化(huà)銨溶(róng)液按本文(wén)件規定的試(shì)驗方(fāng)法檢測應(yīng)符合(hé)表1的(dí)規(guī)定。




試驗(yàn)方(fāng)法(fǎ)
氟(fú)化銨含(hán)量的(dí)測定
原理(lǐ)
使(shǐ)用(yòng)電位(wèi)滴(dī)定法(fǎ)測(cè)定(dìng)氟化銨含(hán)量(liáng)，電極(jí)與(yǔ)試樣溶(róng)液(yè)組成一個(gè)工作電(diàn)池，用NaOH標(biāo)準滴(dī)定溶液(yè)滴定(dìng)。在滴(dī)定終(zhōng)點(diǎn)附近，氫離子(H⁺)濃度(dù)發(fā)生突變(biàn)，引(yǐn)起電極(jí)電位(wèi)的(dí)突躍，根據突(tū)躍(yuè)確定滴定終點(diǎn)。

試(shì)劑(jì)和材料
NaoH標(biāo)準滴(dī)定(dìng)溶液(yè)
：c(NaOH)≈1.0mol/L。

儀器(qì)設(shè)備(bèi)
自動電位(wèi)滴定儀(yí)
：符合 JJG 814-2015 規定的0.1級(jí)別要(yào)求(qiú)，並(bìng)配(pèi)有復(fù)合pH電(diàn)極。

試驗步(bù)驟
在帶(dài)蓋(gài)的(dí)150mL塑料(liào)燒杯中加(jiā)入約60mL水(shuǐ)，稱量(liáng)，用塑料(liào)管加入1.5g~2.5g試樣(yàng)，再稱量，2次稱量(liáng)均精(jīng)確(què)至0.0002g，差減(jiǎn)計(jì)算所(suǒ)稱(chēng)取(qǔ)試樣的質量。用(yòng)水衝(chōng)洗(xǐ)燒(shāo)杯(bēi)壁加水(shuǐ)至(zhì)70mL~80mL，將燒(shāo)杯(bēi)置於自(zì)動電位(wèi)滴(dī)定(dìng)儀的滴定(dìng)台上，將電極(jí)和滴定頭(tóu)浸(jìn)入(rù)液(yè)麵以下。按(àn)儀(yí)器操(cāo)作要(yào)求將自動(dòng)電(diàn)位(wèi)滴定(dìng)儀調(tiáo)試(shì)至工(gōng)作狀態，開(kāi)啟(qǐ)攪(jiǎo)拌並(bìng)用NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴(dī)定溶液進行滴定，記(jì)錄(lù)每個滴(dī)定(dìng)終點(diǎn)消耗(hào)NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴(dī)定(dìng)溶液的體積。
滴(dī)定終點的情(qíng)況分為以下2種
：
a) 出現(xiàn)2個滴定(dìng)終點(diǎn)時(滴定(dìng)曲綫見示(shì)例(lì)1)，分別記錄第1滴(dī)定終點(diǎn)消耗的體積(jī)(V₁)和第2滴(dī)定終(zhōng)點消耗(hào)的體(tǐ)積(jī)(V₂)
；
b) 隻出現1個滴定(dìng)終點(diǎn)時(滴(dī)定(dìng)曲(qū)綫見示例(lì)2)，記(jì)錄這(zhè)個滴定(dìng)終(zhōng)點(diǎn)消(xiāo)耗的體積(jī)(V)。
示例1
：

示例(lì)2
：


試驗數據(jù)處(chǔ)理(lǐ)
出現(xiàn)2個(gè)滴(dī)定終點(diǎn)時氟(fú)化(huà)銨含量(liáng)的計算(suàn)
氟化銨含量(liáng)以氟化(huà)銨(NH₄F)的(dí)質量分(fēn)數(shù)ω₁計(jì)，按公(gōng)式(shì)(1)計(jì)算(suàn)
：

式中(zhōng)
：
V₂——第2滴(dī)定終點(diǎn)所(suǒ)消(xiāo)耗NaoH標(biāo)準滴(dī)定溶液的(dí)體(tǐ)積(jī)的(dí)數值(zhí)，單位為毫升(shēng)(mL)
；
V₁——第1滴定(dìng)終點所消耗NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴(dī)定(dìng)溶液(yè)的(dí)體積的數(shù)值(zhí)，單(dān)位為(wéi)毫升(mL)
；
c ——NaOH標(biāo)準滴(dī)定(dìng)溶(róng)液濃度的(dí)準(zhǔn)確(què)數(shù)值(zhí)，單位為(wéi)摩(mó)爾每(měi)升(mol/L)
；
M ——氟化(huà)銨(NH₄F)摩爾(ěr)質量(liáng)的(dí)數(shù)值，單位為(wéi)克(kè)每摩爾(g/mol)(M=37.04)
；
m ——試(shì)料(liào)的(dí)質量(liáng)的數值(zhí)，單(dān)位(wèi)為(wéi)克(kè)(g)。
取平行測定(dìng)結(jié)果的(dí)算術平(píng)均(jūn)值(zhí)為測定(dìng)結(jié)果(guǒ)，兩次平(píng)行(háng)測定(dìng)結(jié)果(guǒ)的(dí)差值(zhí)不大(dà)於0.1%。
出(chū)現1個(gè)滴定(dìng)終(zhōng)點(diǎn)時氟化銨(ǎn)含量(liáng)的計算(suàn)
氟化(huà)銨(ǎn)含(hán)量以氟化銨(NH₄F)的質量分數ω₁計(jì)，按(àn)公式(2)計算(suàn)
：

式中
：
V ——滴定(dìng)所消(xiāo)耗NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴定溶(róng)液的體積的數(shù)值，單位為毫升(shēng)(mL)
；
c ——NaOH標(biāo)準(zhǔn)滴(dī)定溶(róng)液(yè)濃(nóng)度的準確數(shù)值，單位(wèi)為摩(mó)爾每升(mol/L)
；
M ——氟化銨(NH₄F)的摩爾(ěr)質(zhì)量的數值(zhí)，單位(wèi)為(wéi)克(kè)每(měi)摩爾(ěr)(g/mol)(M=37.04)
；
m ——試(shì)料(liào)的(dí)質(zhì)量(liáng)的(dí)數(shù)值(zhí)，單位(wèi)為(wéi)克(kè)(g)。
取平(píng)行(háng)測(cè)定(dìng)結果(guǒ)的算術平均值為測(cè)定結果，兩次平(píng)行(háng)測(cè)定(dìng)結(jié)果的(dí)差(chà)值不大於0.1%。