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T/FJAS 002-2024 濕電子(zǐ)化學品 再(zài)生(shēng)光阻洗淨液(yè)
範圍(wéi)
本(běn)文件(jiàn)規定了(liǎo)再(zài)生(shēng)光阻(zǔ)洗淨液(yè)的(dí)技術要求(qiú),試驗方法(fǎ),檢(jiǎn)驗(yàn)規則及標(biāo)誌,包裝,運輸和貯(zhù)存。
本(běn)文(wén)件(jiàn)適用(yòng)於以濕(shī)電(diàn)子化學品(pǐn)行(háng)業含(hán)光(guāng)阻(zǔ)洗(xǐ)淨液回(huí)收液(yè)為(wéi)原(yuán)料,經(jīng)過提純的光阻(zǔ)洗淨(jìng)液再生(shēng)產品(以(yǐ)下簡稱產品(pǐn)),主要用於(yú)顯示(shì)麵板製造行業等(děng)。
術語和定義(yì)
下(xià)列術(shù)語(yǔ)和定(dìng)義(yì)適用(yòng)於(yú)本(běn)文件。
濕(shī)電子(zǐ)化(huà)學品(pǐn) wet chemicals
濕電子(zǐ)化學(xué)品又稱(chēng)超淨高純(chún)電子化(huà)學品(pǐn),是微電(diàn)子,光電子濕(shī)法工藝(主(zhǔ)要包括濕法刻(kè)蝕,清洗,顯影,剝離等環節)中使用(yòng)的(dí)各種(zhǒng)液體(tǐ)化(huà)工材(cái)料。
光(guāng)阻洗淨液 Light blocking cleaning solution
光阻去(qù)除(chú)液(yè),清洗劑,主要(yào)成分(fēn)丙二醇甲醚(mí)(PM)和丙二醇(chún)甲醚醋(cù)酸酯(PMA)。
回收(shōu)液 Iiquid recycIing
主(zhǔ)要(yào)含(hán)主要(yào)丙二(èr)醇(chún)甲(jiǎ)醚(mí)和丙(bǐng)二醇(chún)甲醚醋酸(suān)酯,以(yǐ)及少量(liáng)其(qí)它(tā)有機溶(róng)劑,光刻(kè)膠,水,金(jīn)屬(shǔ)離子(zǐ)等(děng)。
技(jì)術要(yào)求(qiú)
產(chǎn)品(pǐn)的(dí)技術(shù)指標(biāo)應符合(hé)表1的要求。
試驗方(fāng)法(fǎ)
水分的測(cè)定(dìng)
按 GB/T 6283 的規定(dìng)進(jìn)行測定。
GB/T 6283-2008 化工(gōng)產品中(zhōng)水(shuǐ)分含量(liáng)的測定(dìng) 卡(qiǎ)爾·費休法(通用方法(fǎ))