GB/T 43965-2024 電子(zǐ)級正矽酸(suān)乙(yǐ)酯

範(fàn)圍(wéi)
本(běn)文件規定(dìng)了(liǎo)半導體行(háng)業用電子級正矽酸(suān)乙酯的技(jì)術要(yào)求，檢驗規則，型式試驗，標(biāo)誌，包(bāo)裝，運輸及貯(zhù)存(cún)的(dí)要(yào)求，描(miáo)述了試(shì)驗(yàn)方法，分析方(fāng)法(fǎ)與(yǔ)測(cè)定結(jié)果(guǒ)評(píng)價(jià)。
本(běn)文(wén)件(jiàn)適用於沉積二氧(yǎng)化矽(guī)的電(diàn)子級正矽(guī)酸(suān)乙(yǐ)酯。

術語(yǔ)和(hé)定義
本文件沒有需要界(jiè)定的術(shù)語和定義(yì)。

技(jì)術要(yào)求
電子級(jí)正(zhèng)矽(guī)酸(suān)乙酯應符(fú)合(hé)表1的(dí)規定。




試驗方法
試驗(yàn)環境
水分(fēn)測試在(zài)氮氣保護(hù)的(dí)手套(tào)箱(xiāng)中進(jìn)行(háng)，箱內(nèi)參數壓力(lì)設(shè)定為0.42mbar，氧(yǎng)含量的體積(jī)分數不(bù)大於(yú)2×10^-0，水含量(liáng)的(dí)體積(jī)分(fēn)數不大於(yú)2×10^-6。

水(shuǐ)分含量的(dí)測(cè)定(dìng)
應(yīng)按(àn) GB/T 26793 中(zhōng)的規(guī)定執行(háng)。
可采(cǎi)用(yòng)其他等效的(dí)方(fāng)法測定正(zhèng)矽(guī)酸(suān)乙(yǐ)酯中水含量(liáng)。當測(cè)定結(jié)果(guǒ)有異議時，按(àn) GB/T 26793 規定的方(fāng)法為(wéi)仲裁方法。
GB/T 26793-2011 庫侖(lún)法(fǎ)微(wēi)量水分測(cè)定(dìng)儀