T/CEMIA 032-2022 顯示麵(miàn)板(bǎn)用氧化(huà)層緩衝刻蝕液(yè)

範圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了顯示麵板用緩衝氧(yǎng)化(huà)物刻(kè)蝕液(yè)的(dí)術語(yǔ)和定(dìng)義
，縮(suō)略語(yǔ)
，分(fēn)類
，要求
，檢驗(yàn)方(fāng)法(fǎ)
，檢(jiǎn)驗規(guī)則以(yǐ)及標(biāo)誌
，包裝
，運(yùn)輸
，貯存(cún)和(hé)安全。
本標準適用(yòng)於由氫(qīng)氟(fú)酸水(shuǐ)溶液
，氟化銨水(shuǐ)溶液(yè)和表(biǎo)麵活性劑(jì)混配(pèi)而成(chéng)的(dí)緩衝氧(yǎng)化(huà)物刻蝕液，應用於(yú)顯示麵板(bǎn)製造中(zhōng)氧化(huà)物層的刻蝕和(hé)清洗(xǐ)過程。

術(shù)語和定義(yì)
本(běn)文件(jiàn)沒有需(xū)要界(jiè)定的(dí)術語(yǔ)和定義(yì)。

縮(suō)略語(yǔ)
下列(liè)縮(suō)略(lüè)語適(shì)用於本文件(jiàn)。
BOE刻蝕(shí)液：緩(huǎn)衝氧化物刻蝕(shí)液(yè)。
PFA：四氟乙烯—全氟烷(wán)氧基乙烯基醚共聚(jù)物(wù)，又(yòu)稱過氟(fú)烷基化(huà)物(wù)，可(kě)溶性聚四(sì)氟(fú)乙烯。

分類(lèi)
顯示麵(miàn)板(bǎn)用BOE刻蝕液根據顯(xiǎn)示(shì)麵(miàn)板(bǎn)客(kè)戶(hù)使(shǐ)用(yòng)要求分為(wéi)Ⅰ級(jí)和Ⅱ級。

要求(qiú)
外(wài)觀
無色(sè)透明液體。
主(zhǔ)要(yào)化學成分(fēn)
顯示麵板用BOE刻(kè)蝕液的主要化學成分應符合表1的規(guī)定。


表(biǎo)麵張力
顯示麵板用(yòng)BOE刻蝕液的表(biǎo)麵張(zhāng)力(lì)指標管控(kòng)可由供應商與客(kè)戶(hù)協(xié)商決定(dìng)。
顆粒數
顯(xiǎn)示(shì)麵板用BOE刻(kè)蝕液(yè)的(dí)顆粒(lì)數應符合(hé)表(biǎo)2的規定。


非金(jīn)屬(shǔ)雜(zá)質含(hán)量(liáng)
顯示(shì)麵(miàn)板用BOE刻(kè)蝕液的(dí)非(fēi)金屬雜質含量應符(fú)合表3的(dí)規定(dìng)。


金(jīn)屬(shǔ)雜(zá)質含量
顯示麵板(bǎn)用(yòng)BOE刻蝕(shí)液的(dí)金(jīn)屬雜質(zhì)含量應(yīng)符(fú)合(hé)表(biǎo)4的規(guī)定。


檢驗方(fāng)法(fǎ)
氫氟酸(suān)和氟(fú)化(huà)銨含量(liáng)
按(àn) SJ/T 11507-2015 中(zhōng)5.2"氟化(huà)銨和氫(qīng)氟(fú)酸(suān)含(hán)量的測定"的規定進(jìn)行。
SJ/T 11507-2015 集成電(diàn)路(lù)用(yòng)氧(yǎng)化層緩衝腐蝕液