T/ICMtia 4.1-2020 集成電(diàn)路用(yòng)氟化(huà)氬光刻(kè)膠(jiāo)單(dān)體(tǐ) 第1部分 液體甲(jiǎ)基(jī)丙烯(xī)酸酯類(lèi)

範圍
本文(wén)件規定了(liǎo)集成電(diàn)路用(yòng)氟化氬光刻(kè)膠單(dān)體第1部分(fēn)液(yè)體(tǐ)甲(jiǎ)基丙烯(xī)酸酯類的術語(yǔ)和定義(yì)，產品類型(xíng)和(hé)結構(gòu)特(tè)點(diǎn)，技術要(yào)求(qiú)，分析檢(jiǎn)測方(fāng)法(fǎ)，工(gōng)藝(yì)要求，包(bāo)裝(zhuāng)，貯存和運(yùn)輸等(děng)要(yào)求。
本(běn)文件適用(yòng)於由有機原料(liào)，溶(róng)劑，適(shì)宜(yí)阻聚劑(jì)等組(zǔ)分(fēn)合(hé)成(chéng)經(jīng)精(jīng)製(zhì)後(hòu)可適(shì)用(yòng)於(yú)氟(fú)化氬樹(shù)脂製(zhì)備用(yòng)的單體。

術(shù)語(yǔ)和定義(yì)
下(xià)列術語和(hé)定(dìng)義適用(yòng)於(yú)本(běn)文件(jiàn)。
氟化(huà)氬光(guāng)刻膠
是指在氟化氬(yà)準分(fēn)子激光器為曝(pù)光光源(波長193nm)的條件下(xià)，具有(yǒu)良(liáng)好的光(guāng)學透(tòu)明(míng)性，較低的吸收，較高(gāo)的(dí)熱穩(wěn)定性，較高(gāo)的抗(kàng)蝕刻性(xìng)能的(dí)光刻(kè)膠(jiāo)。
光(guāng)刻(kè)膠單體
是合成光刻膠樹脂(zhī)的前體(tǐ)物，其(qí)質(zhì)量(liáng)情(qíng)況決(jué)定(dìng)著(zhuó)成膜樹脂(zhī)的性(xìng)能(néng)。
甲基丙(bǐng)烯(xī)酸酯類(lèi)光刻(kè)膠(jiāo)單(dān)體(tǐ)
是指(zhǐ)結(jié)構中(zhōng)均含有(yǒu)甲(jiǎ)基(jī)丙烯酸酯基團(tuán)的(dí)一(yī)類光(guāng)刻(kè)膠單(dān)體。
氣相(xiāng)色譜法(fǎ)
氣(qì)液(yè)色譜法，又(yòu)稱氣(qì)相層(céng)析。是(shì)一(yī)種(zhǒng)在有(yǒu)機化學中(zhōng)對易(yì)於揮(huī)發(fā)而(ér)不發生(shēng)分解(jiě)的化合物(wù)進行分(fēn)離與(yǔ)分(fēn)析(xī)的色譜技術。
高效液相色譜(pǔ)法
高效液(yè)相色(sè)譜是(shì)以(yǐ)液(yè)體為流動(dòng)相，采用(yòng)高壓輸液(yè)係統，將(jiāng)具(jù)有不同極性的(dí)單(dān)一溶劑或不同比例的(dí)混(hùn)合溶劑(jì)，緩衝液(yè)等(děng)流(liú)動相(xiāng)泵入裝有固定相的(dí)色譜柱(zhù)，在柱(zhù)內各成(chéng)分(fēn)被(bèi)分離後，進入檢測(cè)器(qì)進行檢測(cè)，從(cóng)而(ér)實(shí)現對試樣(yàng)的(dí)分(fēn)析(xī)。
凝膠滲(shèn)透色譜法(fǎ)
也稱(chēng)為體(tǐ)積排除色譜(pǔ)，是(shì)一種(zhǒng)液(yè)體(液相)色譜(pǔ)。是利用高分(fēn)子溶液(yè)通(tōng)過(guò)填(tián)充(chōng)有(yǒu)特(tè)種(zhǒng)凝(níng)膠的(dí)柱(zhù)子，把(bǎ)聚合物分(fēn)子(zǐ)按照(zhào)尺(chǐ)寸大小進(jìn)行(háng)分(fēn)離(lí)的(dí)方法(fǎ)。
高(gāo)聚物(wù)
高(gāo)聚物是由一種或幾(jī)種簡單低(dī)分子(zǐ)化(huà)合物經聚合(hé)而組成的(dí)分(fēn)子(zǐ)量很大的(dí)化合(hé)物，又稱(chēng)高分子(zǐ)或大(dà)分子等(děng)。高(gāo)分子(zǐ)化合物(wù)中(zhōng)分(fēn)子所(suǒ)含的原(yuán)子(zǐ)數可達(dá)數萬(wàn)，甚(shèn)至數十萬，而低分子(zǐ)化合物(wù)分(fēn)子(zǐ)的(dí)原子數不過幾個，最多(duō)數百個(gè)。習(xí)慣上將(jiāng)分(fēn)子量小(xiǎo)於500的，稱為(wéi)低(dī)分子化(huà)合物，分(fēn)子(zǐ)量大(dà)於5000 的(dí)稱為(wéi)高分(fēn)子化合物(wù)。
低(dī)聚物
又(yòu)稱寡(guǎ)聚物，舊稱齊聚(jù)物(wù)。指(zhǐ)的是由較(jiào)少的重復(fù)單(dān)元所組成的聚合(hé)物。其相(xiāng)對(duì)分子(zǐ)質量(liáng)介於小(xiǎo)分子(zǐ)和(hé)高(gāo)分子(zǐ)之(zhī)間。一(yī)般出(chū)現(xiàn)在(zài)逐步聚合反(fǎn)應的(dí)初期(qī)，此(cǐ)時(shí)眾多具(jù)有可(kě)相(xiāng)互反應的(dí)官(guān)能團(如(rú)羧酸和醇)的單體彼(bǐ)此(cǐ)互相反(fǎn)應，生成了(liǎo)大量(liáng)的二聚(jù)體，三(sān)聚體(tǐ)等(děng)，之後隨著(zhuó)反(fǎn)應的繼續(xù)，二(èr)聚(jù)體(tǐ)與三聚(jù)體之間(jiān)再(zài)逐(zhú)步反應(yīng)生(shēng)成高分(fēn)子。
所(suǒ)用英文(wén)或字母(mǔ)縮寫(xiě)釋義
ppm  即百萬分之(zhī)一。
表(biǎo)達溶液(yè)濃度(dù)時，1ppm即(jí)為(wéi)1μg/mL，表達固體中(zhōng)成分(fēn)含量時(shí)，1ppm 即(jí)為(wéi)1μg/g。
ppb  即(jí)十(shí)億(yì)分之(zhī)一(yī)。
表(biǎo)達(dá)溶(róng)液濃度時(shí)，1ppb即為(wéi)1×10^-3μg/mL，表(biǎo)達(dá)固(gù)體中(zhōng)成(chéng)分(fēn)含量時(shí)，1ppb即為1×10^-3μg/g。
NMP  N-甲(jiǎ)基吡咯(kǎ)烷酮
IPA  異丙(bǐng)醇

產品類型和結構
性狀與(yǔ)結(jié)構
本係列產品為無色(sè)透明液(yè)體，結構中均含有甲基(jī)丙烯酸(suān)酯(zhǐ)的結構，該(gāi)結(jié)構在(zài)引發劑的(dí)作用下進行聚合(hé)，從而形(xíng)成甲(jiǎ)基(jī)丙烯酸酯(zhǐ)共(gòng)聚(jù)物(wù)。
產(chǎn)品(pǐn)類(lèi)型(xíng)


技術(shù)規格(gé)及指(zhǐ)標




分(fēn)析檢(jiǎn)測方法
水(shuǐ)分(fēn)
按 GB/T 6283 化工產品中水分(fēn)含量(liáng)的測定卡(qiǎ)爾(ěr)·費休(xiū)法(通(tōng)用方(fāng)法)的(dí)規(guī)定執(zhí)行(háng)。
GB/T 6283-2008 化工產品中(zhōng)水分含量(liáng)的測定(dìng) 卡爾·費(fèi)休法(通(tōng)用(yòng)方(fāng)法)

酸(suān)值
按(àn) GB/T 2895 塑料(liào)聚酯樹脂(zhī)部(bù)分(fēn)酸值和總酸值的(dí)測定執行。
GB/T 2895-2008 塑料 聚酯樹脂(zhī) 部分酸值(zhí)和(hé)總(zǒng)酸值的測(cè)定